真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。

真空度的劃分

一、液環(huán)真空泵

液環(huán)泵的原理

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液環(huán)真空泵是一種粗真空泵，是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩?a style="color: red;">金屬腔體

在圓形泵體（A）內(nèi)，在相對于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個葉輪（B），轉(zhuǎn)動的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道（D）流向腔體周邊形成環(huán)流（C），泵起作用時，被輸送的氣體混合物經(jīng)過中間板（E）上的吸入口（H）進(jìn)入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環(huán)內(nèi)徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內(nèi)，當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動時，葉輪葉片浸沒在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少，結(jié)果是氣體混合物受到壓縮，直至到達(dá)中間板中（K）的排放口（J），氣體混合物通過排放口排出。

在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)，為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點(diǎn)以下，必須進(jìn)行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來達(dá)到冷卻的目的。添加的工作液量與經(jīng)過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等，氣體混合物和工作液最終經(jīng)過泵出口進(jìn)行分離。

液環(huán)泵的應(yīng)用

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紙漿和紙張生產(chǎn)中的應(yīng)用：黑液蒸發(fā)、粗漿洗漿機(jī)、石灰泥漿和過濾器、沉淀物過濾器、真空脫水機(jī)、原料和白水除氣系統(tǒng)、調(diào)漿箱壓縮機(jī)、吸水箱、伏輥、吸移輥和傳遞輥、真空壓榨、毛布吸水箱、防吹箱。

塑料行業(yè)中的應(yīng)用：擠出機(jī)除氣、定型臺 (剖面)、EPS 發(fā)泡、干燥、氣動輸送裝置、氯乙烯氣體抽取和壓縮。

器械中的應(yīng)用：蒸汽滅菌、呼吸裝置、氣褥、防護(hù)服、牙科儀、中央真空系統(tǒng)。

食品和飲料行業(yè)中的應(yīng)用：鮭魚清潔機(jī)、礦泉水除氣、色拉油及脂肪除臭、茶葉和調(diào)味品殺菌、香腸火腿生產(chǎn)、煙草制品濕化、真空蒸發(fā)器。

其他行業(yè)的應(yīng)用等。

二、爪式真空泵

爪式泵的原理：

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爪型干式無油真空泵在泵腔內(nèi)具有若干組相互嚙合的爪型轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間并不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結(jié)構(gòu)采用多級轉(zhuǎn)子竄連的形式，每組轉(zhuǎn)子分別位于不同泵腔做同步反方向運(yùn)動。泵腔被爪型轉(zhuǎn)子分隔為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉(zhuǎn)子連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現(xiàn)了泵連續(xù)抽氣的目的。

爪式泵的應(yīng)用

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石化行業(yè)：

能抽除酸性氣體:如四氫呋喃等；能抽除可凝性氣體：如酒精、汽油等；能抽除易燃易爆氣體：如氧氣、氫氣、甲烷等；防腐系列能抽除強(qiáng)酸性氣體：如氯化氫氣體、氟化氫氣體、硫酸氣體等。

醫(yī)藥行業(yè)：

結(jié)晶、蒸餾、升華、干燥、脫臭、聚合、真空蒸發(fā)、負(fù)壓過濾、單體回收、吸附/脫附、物料輸送腐、蝕性介質(zhì)、環(huán)氧乙烷消毒等。

食品行業(yè)：升華、干燥、脫水、真空蒸發(fā)、真空保鮮、真空包裝等。

冶金行業(yè)：浸漬、擠出、真空鍍膜、離子刻蝕、泥料脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

其他行業(yè)的應(yīng)用等。

三、螺桿真空泵

螺桿泵的原理

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螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。

螺桿泵的應(yīng)用

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螺桿式干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體，回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應(yīng)用范圍極為廣泛。

四、羅茨泵

羅茨泵的原理

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羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個"8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)金屬腔體壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的應(yīng)用

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羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗，在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及食品、醫(yī)藥工業(yè)中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面，同時在冶煉、石油化工、電工、電子、包裝等行業(yè)得到了普遍的運(yùn)用。