支持8/12寸晶圓噴膠。

在晶圓流轉(zhuǎn)與作業(yè)全過程中對溫度進(jìn)行精細(xì)管控并自動校正，滿足Underfill工藝需求的同時，保障產(chǎn)品安全。

全程錄像監(jiān)控，便于產(chǎn)品流轉(zhuǎn)、作業(yè)過程觀察及問題追溯與分析。

百級防塵(百級車間，局部十級），匹配晶圓級封裝環(huán)境要求。

ESD防護(hù)符合國際IEC、ANSI 標(biāo)準(zhǔn)。